介觀壓阻型微壓力傳感器介紹及規(guī)劃

　　壓力傳感器運(yùn)用廣泛，例如轎車中的多路壓力丈量(如空氣壓力丈量和輪胎體系、液壓體系、供油體系的壓力丈量)、環(huán)境操控(如加熱、通風(fēng)和空氣調(diào)理)中的壓力丈量、航體系中的壓力丈量以及醫(yī)學(xué)中動(dòng)脈血液壓力丈量等。這兒將在傳統(tǒng)壓力傳感器中運(yùn)用一種新原理一介觀壓阻效應(yīng)口，即在共振隧穿電壓鄰近，通過4個(gè)物理進(jìn)程，將一個(gè)弱小的力學(xué)信號(hào)轉(zhuǎn)化為一個(gè)較強(qiáng)的電學(xué)信號(hào)。

　　用基于介觀壓阻效應(yīng)的共振隧穿薄膜替代傳統(tǒng)的壓阻式應(yīng)變片作為靈敏元件，通過理論剖析和仿真核算驗(yàn)證了該構(gòu)造對(duì)傳感器靈敏度、固有頻率的影響，從理論上證明了介觀壓阻效應(yīng)原理能夠進(jìn)步壓力傳感器的靈敏度，擴(kuò)展其丈量頻率的規(guī)模。

　　介觀壓阻效應(yīng)及GaAs，AlAs/InGaAsDBRT構(gòu)造薄膜

　　介觀壓阻效應(yīng)的界說為“等效電阻的應(yīng)力調(diào)制"，等效電阻是對(duì)共振隧效應(yīng)的一種詳細(xì)描繪。由4個(gè)物理進(jìn)程構(gòu)成：①在力學(xué)信號(hào)下，納米構(gòu)造中的應(yīng)力散布將發(fā)作改變；②必定條件下應(yīng)力改變可致使內(nèi)建電場的產(chǎn)生；③內(nèi)建電場將致使納米帶構(gòu)造中量子能級(jí)發(fā)作改變；④量子能級(jí)改變會(huì)致使共振隧穿電流改變。簡言之，在共振隧穿鄰近，通過上述進(jìn)程，可將一個(gè)弱小的力學(xué)信號(hào)轉(zhuǎn)化。為一個(gè)較強(qiáng)的電學(xué)信號(hào)，體現(xiàn)出較大的壓阻系數(shù)。這兒所用的介觀壓阻效應(yīng)元件為GaAs/A1As/InGaAs DBRT構(gòu)造薄膜納米級(jí)窄帶隙資料。隨著外部壓力致使的拉伸應(yīng)變的改變(如圖1所示)，DBRT構(gòu)造的共振隧穿電流和阻抗明顯改變。而且，阻抗應(yīng)變輸出可由外部電壓有用調(diào)理。其長處是靈敏度高、靈敏度可調(diào)、靈敏度隨溫度改變小。

　　傳感器構(gòu)造規(guī)劃及力學(xué)剖析

　　所規(guī)劃的壓阻式壓力微傳感器，其制法是將N型硅腐蝕成厚10～25μm的膜片，并在一面分散了4個(gè)阻值持平的P型電阻。硅膜片周邊用硅杯固定，則當(dāng)膜片兩面有壓力差時(shí)，膜片即發(fā)作變形，然后致使電阻改變。用微電路檢查出這種電阻改變，通過核算即可得出壓力改變?nèi)鐖D2所示。

　　核算時(shí)假定：小撓度理論；壓力是均勻作用于平膜片外表。由平膜片的應(yīng)力核算公式可知：

　　當(dāng)r<0．635R時(shí)，σ>0；

　　同樣，當(dāng)r=0．812R時(shí)，σT=0，且σr<0，如圖3所示。在圓形硅膜片上，沿[110]晶向，在0．635R半徑表里各分散2個(gè)電阻，并恰當(dāng)組織分散的方位，使得σn=一σro，則有(△R／R)i=一(△R/R)

　　這么即可構(gòu)成差動(dòng)全橋電路，測(cè)出壓力P的改變。式中σri，σro別離為內(nèi)、外電阻上所受徑向力的平均值；(△R／R)i，(△R/R)別離為內(nèi)、外電阻的相對(duì)改變。

　　依據(jù)膜的構(gòu)造與應(yīng)力核算公式，推出被測(cè)壓力與應(yīng)變片測(cè)出的應(yīng)變：

　　式中：μ為硅資料的泊松比，μ=O.35；R,r，h別離為硅膜片的有用半徑，核算半徑，厚度；E為硅資料的模量，E=8．7Gpa；P為作用于平膜片上的壓力；ω為平膜片的撓度；

　　通過剖析，綜合考慮規(guī)劃的請(qǐng)求，開始設(shè)定：h=20μm，R=200μm。其固有頻率能夠按下式核算：

　　傳感器的功能剖析與核算

　　運(yùn)用介觀壓阻效應(yīng)原理替代壓阻原理來檢查壓力，將圓膜片上的的壓敏電阻換成GaAs／A1As／InGaAs DBRT構(gòu)造薄膜。用傳遞矩陣法核算該薄膜在沿成長方向的應(yīng)力改變下的輸出呼應(yīng)，通過全部構(gòu)造的隧穿電流密度可表示為：

　　式中：e為電子電荷的巨細(xì)，m*為GoAs電子的有用質(zhì)量，kB為玻爾茲曼常數(shù)，T為溫度，EF為費(fèi)米能級(jí)，E1為入射電子筆直(縱向)能量。

　　使用公式可核算出不一樣拉伸應(yīng)變下隧穿電流隨偏壓的改變，如圖4所示。圖中實(shí)線、虛線別離表示0和5％的拉伸應(yīng)變。核算偏壓別離為0．75 V和1.2 V時(shí)的壓阻系數(shù)為：

　　傳感器的輸出為：

　　設(shè)偏壓為0．75 V設(shè)偏壓為0．75 V，電橋的鼓勵(lì)電壓為2．5 V的情況下，該傳感器的靈敏度S為：

　　結(jié)語

　　該構(gòu)造的壓力微傳感器因?yàn)殪`敏元件與改換元件一體化，尺度小，其固有頻率很高，能夠丈量頻率規(guī)模很寬的脈動(dòng)壓力。在不一樣的偏壓下，該傳感器的靈敏度不一樣。闡明靈敏度可調(diào)理。同樣構(gòu)造的微壓力傳感器，假如靈敏元件是硅或銅鎳合金壓敏電阻，其靈敏度別離為0．38x104V／m和O．17×104V／m。可見選用共振隧穿二極管做為靈敏元件的微壓力傳感器其靈敏度較之傳統(tǒng)的傳感器得到了很大的進(jìn)步。